Фаза И: Ране ливнице чипова имале су високе профитне марже. Углавном користе 100-150мм машине за магнетронско распршивање мале снаге. Филм за распршивање је дебео, а величина чипа је велика.
У то време,титанијумске метеза интегрисана кола су углавном биле 100-150мм мономерне и композитне мете.
Фаза Ⅱ:
У другој фази, према Муровом закону, ширина линије чипа постаје ужа. Да би повећала профит, ливница чипова је повећала снагу прскања опреме, углавном користећи опрему за распршивање од 150-200мм. Ово захтева повећање величине мете уз одржавање високе топлотне проводљивости, ниске цене и одређене снаге. Током овог периода,титанијумске метесе углавном састоје од дифузионог заваривања задње плоче од легуре алуминијума и лемљења и заваривања задње плоче од легуре бакра.
ИИИ фаза:
У трећој фази, развојем интегрисаних кола, ширина чип линија се додатно сужава. У овом тренутку, ливнице чипова углавном користе машине за распршивање од 200-300мм, а захтеви за циљне материјале су строжи. Током овог периода,Ти таргетје углавном направљен од легуре бакра дифузионим заваривањем задње плоче.
