1. Чистоћа
Чистоћа мете за распршивање треба да буде најмање 99,95 процената. Што је већа чистоћа, то су боље перформансе распршеног филма.
2. Густина
Релативна густина мете за распршивање треба да буде већа од 98 процената. Мета веће густине може смањити прскање честица филма током процеса премазивања, чиме се побољшава квалитет филма.
3. Структура зрна
молибден мета за распршивање је поликристална структура. Током распршивања, циљни атоми се лако распршују дуж најближе распоређеног правца хексагоналних атома. Да би се постигла максимална брзина прскања, потребно је повећати брзину распршивања променом кристалне структуре мете.
4. Величина зрна
Величина зрна може бити од микрона до милиметара. Брзина прскања мете са финим зрном је већа од оне мете са крупним зрном, а расподела дебљине нанесеног филма је такође релативно уједначена за мету са малом разликом у величини зрна.
5. Везивање мете и шасије
Пре прскања, мету треба повезати са бакарном шасијом без кисеоника како би се осигурало да је топлотна проводљивост између мете и шасије добра. Након везивања, ултразвучна инспекција ће бити спроведена како би се осигурало да је површина без везивања мања од 2 процента, како би се испунили захтеви за распршивање велике снаге.
